专利名称：惯性传感器及其制造方法专利类型：发明专利发明人：张平
申请号：CN200710112684.4申请日：20070627公开号：CN101334422A公开日：20081231
摘要：本发明提供一种惯性传感器及其制造方法，系利用压力差(压力梯度)量测物体运动的加速度或角加速度的惯性传感器。该惯性传感器包括有基板，位于所述基板上的电路，及压力装置包括有环形腔体，具有第一端及第二端；通道，具有第一端及第二端，所述第二端连接所述环形腔体的第二端；压力计，分别连接所述环形腔体的第一端及所述通道的第一端，且所述压力计电气连接所述电路；及流体，充填于所述环形腔体中。因此，本发明提供高灵敏度平面式结构的惯性传感器，可达到结构简单，工艺简易，降低成本。本发明的惯性传感器可量测物体移动或转动时的加速度或角加速度，可进一步相互整合进行多轴量测。
申请人：财团法人工业技术研究院
地址：台湾省新竹县
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
代理人：任默闻
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